半導(dǎo)體超純水說明

n 產(chǎn)品介紹：

EX-UPW-TOC產(chǎn)品系列是一款適用于純水（UPW）制備中對總有機碳（TOC）進行降解的先進可靠系統(tǒng)。通過更高185nm穿透率、實時在線的紫外線強度監(jiān)測、本地/遠程的智能控制，實現(xiàn)高效、安全可控的總有機碳（TOC）降解。該設(shè)備在超純水制備工藝中，可使純水TOC降至1ppb以下。

n 主要優(yōu)勢：

2 安全可控

真空級平行光束儀進行理論安全劑量指導(dǎo)設(shè)計，足夠紫外線劑量實時輸出可調(diào)，系統(tǒng)智能自控。

2 更高去除效率

更高純石英玻璃，系統(tǒng)185nm紫外線強度輸出較傳統(tǒng)產(chǎn)品提高50%以上。

2 CFD流體模擬

進行細節(jié)模擬設(shè)計，提高處理效率

2 性能穩(wěn)定、操作簡便

本地與遠程控制，配備PLC、觸摸屏，紫外強度實時顯示及預(yù)警

2 先進的加工工藝

采用先進設(shè)備、工藝加工，反應(yīng)器內(nèi)外電解拋光，Ra<0.2

2 多形式選擇

滿足現(xiàn)場多樣化安裝形式，產(chǎn)品可選擇成套撬裝，占地面積小

半導(dǎo)體超純水產(chǎn)品規(guī)格：

半導(dǎo)體超純水說明應(yīng)用領(lǐng)域：

1. 半導(dǎo)體材料、器件、印刷電路板和集成電路板

2. 電解電容器生產(chǎn)鋁箔及工作件的清洗

3. 電子管生產(chǎn)、電子管陰極涂敷碳酸鹽配液

4. 黑白顯像管熒光屏的生產(chǎn)、波殼清洗、沉淀、洗膜、管頸清洗

5. 液晶顯示器的生產(chǎn)、屏面清洗

6. 集成電路生產(chǎn)中高純水清洗硅片

7. LCD液晶顯示屏、PDP等離子顯示屏的生產(chǎn)